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【2h】

LDRD final report : on the development of hybrid level-set/particle methods for modeling surface evolution during feature-scale etching and deposition processes.

机译：LDRD最终报告：关于在特征尺度蚀刻和沉积过程中建模表面演变的混合水平集/粒子方法的开发。

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McBride, Cory L. (Elemental Technologies, American Fork, UT); Schmidt, Rodney Cannon; Musson, Lawrence Cale;
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年度 2005
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